新型集成隱埋齊納二極管的研制及穩(wěn)定性研究

摘要： 介紹了一種采用40 V高壓雙極工藝制作的新型集成隱埋齊納二極管的穩(wěn)定性研究。這種新型隱埋齊納二極管擊穿電壓值可調，齊納擊穿區(qū)避開表面，隱埋在硅體內，且內阻小、噪聲低。首先分析了40 V高壓雙極工藝現有的次表面集成齊納二極管長期穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性不足的原因，接著介紹了新型集成隱埋齊納二級管的工作機理。對新型集成隱埋齊納二極管開展了老化試驗，通過分析試驗數據驗證了新型集成隱埋齊納管結... （共7頁）