激光技術(shù)制備微流道的研究

摘要： 采用YAG雷射制程技術(shù)制備微流道,不但處理速度快、低污染、低耗費(fèi),硅芯片經(jīng)YAG雷射表面處理后呈現(xiàn)微流道,實(shí)驗(yàn)得出雷射光斑直徑受頻率及電流強(qiáng)度所控制,隨著頻率減少及電流強(qiáng)度增加而變大,微流道寬度隨著頻率減少及電流強(qiáng)度增加而變寬,掃描速度對(duì)微流道寬度無明顯影響。微流道深度隨著頻率及電流強(qiáng)度增加而變深,隨著掃描速度增加而變淺。微流道熱影響區(qū)在各制程參數(shù)下,其影響的變化差異并不明顯,微流道表面粗糙度隨著頻率及電流強(qiáng)度的增加而變大,隨著掃描速度的增加而降低,最佳制程參數(shù)為掃描速度10mm/s、電流10A及頻率1KHz,其微流道表面及軌跡最為平整,且?guī)缀涡螤钭罴选?（共3頁）