基于光流像素匹配的掃描顯微相位測(cè)量輪廓術(shù)

摘要： 在掃描相位測(cè)量輪廓術(shù)中，需要先將不同位置的物體匹配到同一點(diǎn)，再根據(jù)相移算法提取相位信息，而像素匹配精度與相移算法均會(huì)影響測(cè)量精度。為此，采用顯微系統(tǒng)，根據(jù)其遠(yuǎn)心光路特性實(shí)現(xiàn)物體移動(dòng)量與像素移動(dòng)量的等量轉(zhuǎn)換；通過(guò)交替采集白場(chǎng)圖像和條紋圖像，由白場(chǎng)圖像通過(guò)光流法實(shí)現(xiàn)精確的像素匹配，再根據(jù)物體勻速運(yùn)動(dòng)特點(diǎn)實(shí)現(xiàn)條紋圖像的精確像素匹配；根據(jù)初始條紋周期選擇基本符合滿(mǎn)周期的N幅條紋圖，由任... （共11頁(yè)）