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微熱流矢量傳感器的聲號(hào)筒增敏結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

傳感技術(shù)學(xué)報(bào) 頁(yè)數(shù)： 8 2024-12-15
摘要： 為了能有效提高微熱流矢量傳感器的靈敏度，同時(shí)不改變其“8”字指向性，設(shè)計(jì)了一種微型聲振速號(hào)筒結(jié)構(gòu)，可以在不增加電噪聲的前提下，實(shí)現(xiàn)微熱流MEMS傳感器在工作頻段內(nèi)的物理增敏，且對(duì)MEMS芯片起到保護(hù)作用。通過(guò)COMSOL中的熱粘性聲學(xué)模塊，建立聲號(hào)筒仿真模型對(duì)理論方程進(jìn)行求解，選擇最優(yōu)的雙錐管型結(jié)構(gòu)；改變聲號(hào)筒的尺寸參數(shù)，確定聲號(hào)筒的加工尺寸；將MEMS技術(shù)加工的微熱流傳感器和... （共8頁(yè)）

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