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玻璃表面化學(xué)蝕刻增強(qiáng)基板上類(lèi)金剛石薄膜的結(jié)合力與透光率

材料科學(xué)與工程學(xué)報(bào) 頁(yè)數(shù)： 9 2024-10-15
摘要： 本研究采用一種新方法來(lái)改善類(lèi)金剛石(DLC)薄膜在玻璃表面結(jié)合力弱的問(wèn)題。首先通過(guò)反膠束微乳液刻蝕法在玻璃表面蝕刻出致密連續(xù)的微米凹坑，然后采用磁控濺射依次鍍制SiO2、SiOC過(guò)渡膜及DLC膜。由于薄膜物質(zhì)嵌在連續(xù)的微米凹坑里形成波浪狀的3D膜層，不僅可將應(yīng)用在膜上的作用力分解釋放，而且也大大提高了玻璃表面與膜的接觸面積，從而顯著增強(qiáng)DLC薄膜在玻璃表面的結(jié)合。為了改善薄膜... （共9頁(yè)）

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