光刻法制備的長波紅外超透鏡（英文）

摘要： 長波紅外的超表面在熱成像、大氣遙感和目標識別等領域具有巨大的應用潛力。在這項研究中，我們設計并實驗展示了一種4 mm尺寸的全硅超表面透鏡，其具有大焦深，可在9μm至11.5μm范圍內工作。實驗結果證實了超透鏡在長波紅外區(qū)域的有效聚焦和成像能力，為超透鏡技術在長波紅外領域的實際應用鋪平了道路。 （共6頁）