面向OCT應(yīng)用的氮化硅波導(dǎo)基超寬帶片上光源

摘要： 光學(xué)相干層析成像（Optical Coherence Tomography,OCT）技術(shù)具有非侵入、高分辨率、可實(shí)時(shí)成像等優(yōu)點(diǎn)，在生物醫(yī)學(xué)、材料學(xué)及紅外傳感等眾多領(lǐng)域被廣泛應(yīng)用。設(shè)計(jì)了一種基于氮化硅（Si3N4）的脊形懸空光波導(dǎo)，基于時(shí)域有限差分法對(duì)所設(shè)計(jì)波導(dǎo)的主要結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化，并研究了該波導(dǎo)中產(chǎn)生的超連續(xù)譜特性。數(shù)值模擬結(jié)果表明，在脊寬=750 nm、脊高=700 nm... （共13頁）