離子束改善薄膜光學特性研究

摘要： 提出并設(shè)計一款具有雙腔室結(jié)構(gòu)的加熱燈絲型輔助離子源，解決現(xiàn)有燈絲型離子源無法通入氧化性氣體作為工作氣體或燈絲工作時間較短的問題，使得該離子源可以用于氧化物薄膜的輔助制備，兼具活化源的部分功能。同時，設(shè)計相關(guān)的實驗驗證提出的輔助離子源的有效性。選取光通信領(lǐng)域常見的兩種氧化物（Ta2O5和SiO2）薄膜作為沉積的膜層材料，改變離子源的電流、電壓、偏壓、工作氣體流量等參數(shù)，并利用分光... （共7頁）