坐標(biāo)統(tǒng)一用三棱臺標(biāo)準(zhǔn)器設(shè)計(jì)與精度分析

摘要： 為解決具有深孔、微槽、弧面等復(fù)雜特征微器件的高精度測量問題，需要采用微納米接觸式測頭和白光干涉測頭進(jìn)行復(fù)合測量。而在這兩種測頭構(gòu)成的復(fù)合測量系統(tǒng)中，現(xiàn)有標(biāo)準(zhǔn)器無法對其進(jìn)行高精度的坐標(biāo)統(tǒng)一。因此，根據(jù)兩種測頭的測量原理，提出一種三棱臺標(biāo)準(zhǔn)器來實(shí)現(xiàn)坐標(biāo)統(tǒng)一。根據(jù)三棱臺標(biāo)準(zhǔn)器的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，基于幾何原理，建立標(biāo)準(zhǔn)器幾何參數(shù)及其平面度對基準(zhǔn)點(diǎn)坐標(biāo)精度影響的數(shù)學(xué)模型。根據(jù)數(shù)學(xué)模型進(jìn)行數(shù)值仿真... （共8頁）