激光-微銑削復(fù)合加工氧化鋁共燒基板基礎(chǔ)研究
摘要: 基于氧化鋁共燒基板難加工問(wèn)題,提出激光輔助微銑削的復(fù)合加工方法。研究了納秒激光加工氧化鋁共燒基板的形貌、尺寸以及殘留變質(zhì)層機(jī)械特性之后進(jìn)行銑削試驗(yàn)。結(jié)果表明,緊密結(jié)合的氧化鋁顆粒在激光的作形成疏松的變質(zhì)層附在基體表面。槽的刻蝕深度隨激光功率的增加和掃描速度、填充間距的減小分別在170~537μm、167~493μm和170~303μm有著不同程度的增加,而刻蝕寬度在515~64... (共10頁(yè))
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