大口徑光學(xué)鏡面的扇形射流自動(dòng)清洗技術(shù)
摘要: 針對(duì)目前大口徑鏡面無與之匹配的自動(dòng)清洗設(shè)備的問題,提出了一種扇形射流自動(dòng)清洗技術(shù),對(duì)扇型噴嘴的結(jié)構(gòu)、布置形式和清洗力進(jìn)行了研究,噴射角度在25°~125°范圍內(nèi)可控,提出氣液混合清洗方式,結(jié)合自動(dòng)化設(shè)備,在保護(hù)鏡面不受損傷的前提下,設(shè)計(jì)了一套針對(duì)大口徑光學(xué)鏡面的自動(dòng)清洗裝置,可以在1 min內(nèi)完成鏡面清洗。通過Zeta儀對(duì)清洗后的鏡面形貌進(jìn)行觀測(cè),剩余雜質(zhì)顆粒直徑<10μm,無... (共8頁)
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