聚二烯丙基二甲基氯化銨對鎢和SiO₂去除速率選擇性的影響

摘要： 為了提高鎢(W)和SiO₂在化學機械拋光(CMP)過程中的去除速率選擇比，提出將綠色環(huán)保的聚二烯丙基二甲基氯化銨(PDADMAC)作為SiO₂去除速率的抑制劑；以普通硅溶膠為磨料，研究酸性拋光液中不同PDADMAC添加量對W和SiO₂去除速率以及表面粗糙度的影響，并探究PDADMAC在CMP過程中對W和SiO₂的不同作用機制。結果表明：隨著PDADMAC添加量的增加，W... （共7頁）