非金屬空位對(duì)TiN_x電子結(jié)構(gòu)及導(dǎo)電性能影響的第一性原理研究

摘要： TiN涂層因良好的耐腐蝕、導(dǎo)電性能在金屬雙極板改性領(lǐng)域被廣泛應(yīng)用。TiN沉積過(guò)程中易受制備條件影響而形成非金屬空位,進(jìn)而影響涂層性能。因此,本研究利用第一性原理方法計(jì)算了含有不同非金屬空位量的TiN_x體系的電子結(jié)構(gòu),展開(kāi)了非金屬空位對(duì)各TiN_x體系的晶體結(jié)構(gòu)、能帶結(jié)構(gòu)、態(tài)密度、自由電子相對(duì)濃度及電荷布居影響研究。分析結(jié)果表明,隨著非金屬空位的形成,各TiN_x體系穩(wěn)定性逐漸... （共6頁(yè)）