面向MEMS加速度傳感器的aF級電容檢測電路設(shè)計

摘要： 針對MEMS電容式加速度計輸出信號弱(fF量級)、易受干擾等問題,設(shè)計了一種基于差分載波調(diào)制解調(diào)方法的高精度電容檢測電路,檢測下限可達(dá)aF量級。該方法采用高頻載波調(diào)制解調(diào),可有效抑制1/f噪聲;采用敏感電容差動檢測方式,可抑制共模噪聲干擾。采用fF級動態(tài)電容輸出的商用加速度計表頭搭建測試系統(tǒng),測試結(jié)果表明:所設(shè)計電路的電容檢測下限可達(dá)35 aF,等效電容分辨率為■,本底噪聲水平... （共6頁）