基于誤差提取算法輔助裝調(diào)的離焦誤差校正方法

摘要： 在大數(shù)值孔徑(NA)球面面形檢測中，被測球面偏離理想共焦位置引入的離焦誤差嚴(yán)重影響檢測精度。為了對(duì)離焦誤差進(jìn)行精確提取和有效校正，提高元件終檢位置的調(diào)整效率，設(shè)計(jì)了一種基于誤差提取算法輔助裝調(diào)的離焦誤差校正方法。通過離焦誤差提取算法實(shí)現(xiàn)離焦量的定量提取，并判斷調(diào)整方向，快速精準(zhǔn)地將大NA球面調(diào)整至零條紋位置，大幅減小離焦誤差；輔助裝調(diào)后再利用Zernike波面擬合算法消去離焦項(xiàng)... （共7頁）

大數(shù)值孔徑 干涉檢測 離焦誤差 Zernike波面擬合算法