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基于混合Kalman橢圓擬合的移相干涉測量算法

應(yīng)用光學(xué) 頁數(shù): 10 2024-11-15
摘要: 基于李薩如圖的橢圓擬合(Lissajous ellipse fitting, LEF)算法,可以從移相干涉圖中恢復(fù)物體表面三維形貌信息。由于孤立點、噪聲和短弧擬合等因素影響,常用橢圓擬合算法精度受限,穩(wěn)定性不高,因此提出了一種混合Kalman橢圓擬合算法。從固定或隨機(jī)移相干涉圖中計算得到兩組符合李薩如圖形簡諧運動方程參數(shù),將其作為混合Kalman橢圓擬合初始值,通過迭代得到橢圓... (共10頁)

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