一種基于偏振相機的應(yīng)力測量方法及其誤差校正

摘要： 基于Muller矩陣和Stokes矢量測量原理，提出了一種利用圓偏振光、無旋轉(zhuǎn)元件的應(yīng)力測量和在線誤差校正方法。該方法通過偏振相機獲取的光強信息計算出待測樣品的相位延遲，對相位延遲進行溯源便可得到樣品的應(yīng)力分布。通過分析標準1/4波片的相位延遲和偏振相機消光比對測量結(jié)果的影響，提出了相應(yīng)的在線測量與校正方法。為驗證方案的可行性，搭建了一套應(yīng)力測量系統(tǒng)，利用該系統(tǒng)測量了一塊經(jīng)計量... （共7頁）