多孔Ti基吸氣劑的分子動力學仿真與性能表征

摘要： 吸氣劑對維持MEMS(Micro-Electro-Mechanical System）器件真空度起著至關重要的作用，目前常見的提升吸氣劑性能的方法是在大比表面積的多孔支架上沉積吸氣劑。為了驗證多孔結構對提升吸氣劑性能的突出作用，使用分子動力學仿真軟件Lammps對薄膜型吸氣劑和多孔支架吸氣劑的吸附行為進行了仿真，仿真結果表明多孔支架吸氣劑的吸氣量是薄膜型吸氣劑的2.69倍。使用... （共7頁）