微型磁控管式離子泵設計及其性能研究

摘要： 越來越多關于微型離子泵新思路、新想法的產(chǎn)生以及新結(jié)構(gòu)設計的提出，為目前微型真空電子元件的工作和真空度維護等問題提供了更多的解決方法。微型電離真空計與微型濺射離子泵在結(jié)構(gòu)和原理上有許多相似之處，將這兩種器件結(jié)合在一起，能夠同時實現(xiàn)兩種功能并且大大減小半導體整體體積，文章在一種微型電離真空計的基礎上設計了一種微型濺射離子泵，該離子泵單獨作為主泵在10^-3 Pa-10^-4... （共7頁）