高功率電感耦合等離子體雙溫非平衡數(shù)值模擬

摘要： 湍流是等離子體在實(shí)際工作中的一種常見現(xiàn)象，為了研究湍流模型對(duì)等離子體炬內(nèi)溫度空間分布的影響，建立了一個(gè)雙溫度(2T)的熱非平衡模型，并將其用于對(duì)湍流條件下的電感耦合等離子體(ICP)的數(shù)值模擬。通過改變注入反應(yīng)氣和冷卻氣流量以及輸入功率等參數(shù)，討論了不同的工作條件下等離子體的電子溫度和重粒子溫度的空間分布。研究結(jié)果表明：湍流與層流模型的模擬結(jié)果有顯著的差別，過高的反應(yīng)氣流量會(huì)造... （共9頁）