濺射鍍膜單體機(jī)真空系統(tǒng)設(shè)計及性能分析

摘要： 為了使濺射鍍膜單體機(jī)的極限真空度達(dá)到5×10^-4Pa并提高其抽空效率，提出了新的濺射鍍膜單體機(jī)真空系統(tǒng)設(shè)計方案。利用MOLFLOW+軟件對所設(shè)計的真空系統(tǒng)進(jìn)行了極限真空度驗證，真空室內(nèi)部氣壓均優(yōu)于2.7×10^-4Pa；同時，建立了真空系統(tǒng)的抽氣計算模型，求解得到抽空曲線，與實(shí)機(jī)試驗結(jié)果進(jìn)行比較，結(jié)果顯示，計算模型獲得的抽空曲線與試驗測試值偏差小于5%，可用于高真空系... （共9頁）