不同退火氣氛對PdNi氫氣傳感器的性能影響研究

摘要： 氫能是最有望代替化石能源的清潔能源之一，其具有易生產(chǎn)、高效和清潔環(huán)保等優(yōu)點。但當(dāng)氫氣濃度達到4%～75.6%時，極易發(fā)生爆炸，所以在氫氣的生產(chǎn)制備、儲存、運輸、分配和應(yīng)用過程中，氫氣濃度監(jiān)測極為重要。文章采用磁控濺射技術(shù)和MEMS工藝制備了薄膜厚度為90 nm的PdNi合金薄膜，針對PdNi合金薄膜氫氣傳感器的零點漂移問題，采用空氣和氬氣進行退火處理，退火溫度和時間設(shè)置為250... （共7頁）