類金剛石薄膜的殘余應(yīng)力調(diào)控研究進(jìn)展

摘要： 類金剛石薄膜（Diamond-like carbon,DLC）由于其優(yōu)異的性能而在諸多領(lǐng)域顯示出廣闊的應(yīng)用前景。然而，DLC薄膜中存在的高殘余應(yīng)力，削弱了膜基結(jié)合力，導(dǎo)致薄膜開裂或剝落，嚴(yán)重限制了其使用壽命和可靠性，成為DLC薄膜研究領(lǐng)域中亟需解決的關(guān)鍵問題之一，也是基于實(shí)際應(yīng)用的緊迫需求。介紹了DLC薄膜應(yīng)力產(chǎn)生的來源，并結(jié)合國內(nèi)外研究現(xiàn)狀從元素?fù)诫s、過渡層和工藝調(diào)控3個(gè)方面... （共15頁）