復(fù)合襯底薄膜砷化鎵太陽電池技術(shù)研究

摘要： 針對薄膜砷化鎵(GaAs)太陽電池，提出了一種復(fù)合襯底結(jié)構(gòu)及其一體化制備方法。采用微加工方法使該薄膜砷化鎵太陽電池的復(fù)合式柔性襯底的厚度降低至15μm,薄膜GaAs太陽電池整體面密度低至95 g/m~2,光刻形成的金屬微孔使砷化鎵與襯底背面底電極電學(xué)導(dǎo)通。此外，提出的復(fù)合襯底一體化制備方法可避免傳統(tǒng)薄膜GaAs電池鍵合過程對砷化鎵外延層造成的影響，提高太陽電池工藝可靠性。薄膜G... （共7頁）