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高精度寬量程MEMS皮拉尼真空度傳感器

微納電子技術(shù) 頁數(shù)： 9 2024-12-15
摘要： 真空度傳感器是真空檢測(cè)的核心元件?；谌珮蚪Y(jié)構(gòu)微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)皮拉尼芯片開發(fā)了一款高精度寬量程MEMS皮拉尼真空度傳感器。全橋結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)從芯片級(jí)有效抑制了傳感器的溫漂。測(cè)試結(jié)果表明，傳感器最大溫漂為0.15%/℃。校準(zhǔn)后，該傳感器能夠在5×10-2～1.01×10~5 Pa的真空度范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)小于5%的高讀數(shù)精度，最大靈敏度為1.34 V/Dec。傳感器平均噪聲小... （共9頁）

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