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采用鋸齒肋壁強化硅基MEMS微通道相變換熱

微納電子技術(shù) 頁數(shù): 8 2024-12-15
摘要: 為提升微通道相變換熱器綜合性能,包括同時實現(xiàn)降低沸騰起始過熱度、提高傳熱系數(shù)和抑制沸騰傳熱不穩(wěn)定性,提出了一種具有鋸齒形肋壁的硅基微電子機械系統(tǒng)(MEMS)微通道結(jié)構(gòu),并對常規(guī)并聯(lián)微通道與鋸齒肋壁微通道開展了對比實驗研究。結(jié)果表明,鋸齒肋壁的齒根處提供了眾多有效核化穴,實現(xiàn)了2℃低過熱度下的沸騰啟動,較常規(guī)并聯(lián)微通道的沸騰起始過熱度降低了18℃。由于大量鋸齒形核化穴的存在,提高... (共8頁)

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