差動(dòng)臨界角法高精度動(dòng)態(tài)檢焦技術(shù)研究

摘要： 基于臨界角檢焦技術(shù)具有光能量損耗小、組裝相對(duì)簡單、調(diào)試相對(duì)容易、系統(tǒng)分辨率高等特點(diǎn)，當(dāng)引入差動(dòng)信號(hào)處理技術(shù)，可放大提取的檢焦信號(hào)，提升檢測靈敏度和提高檢焦曲線的光滑度，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)更大的焦面檢測范圍，減少由于基底本身存在不平整影響到的檢焦誤差。本論文首先從差動(dòng)臨界角法檢焦技術(shù)的基本原理出發(fā)，通過Fresnel公式和牛頓公式得到離焦量與離焦信號(hào)的關(guān)系。其次搭建差動(dòng)臨界角法檢焦驗(yàn)證系... （共12頁）