鈮酸鋰單晶薄膜化學(xué)機(jī)械拋光及極化研究

摘要： 使用化學(xué)機(jī)械拋光制備硅基鈮酸鋰單晶異質(zhì)集成薄膜，研究了在薄膜制備過程中不同階段下薄膜狀態(tài)，利用原子力顯微鏡(AFM)和X射線光電子能譜分析(XPS)對單晶鈮酸鋰的表面形貌與元素含量變化進(jìn)行了表征，并通過高壓極化裝置對鈮酸鋰薄膜實(shí)現(xiàn)了大面積周期性極化。研究結(jié)果表明，隨著研磨步驟的進(jìn)行，樣品表面粗糙度逐漸降低，完成最終拋光工藝后，樣品表面均方根粗糙度基本達(dá)到初始樣品水平；拋光過程會... （共7頁）