鈦合金納米薄膜壓力傳感器非線性及靈敏度研究

摘要： 為了滿足鈦合金納米薄膜壓力傳感器高精度測量要求，基于薄膜厚度、凸島、電阻形狀和排列位置對傳感器非線性、靈敏度的影響分析，設(shè)計并優(yōu)化了以鈦合金薄膜為敏感元件的兩種量程的壓力傳感器。結(jié)果表明，有無凸島，傳感器的最大應(yīng)力均出現(xiàn)在膜片邊緣處。增加凸島后，最大應(yīng)力降低，位置基本保持不變。增加凸島或隨著凸島直徑增大，非線性降低，靈敏度相應(yīng)增加。理論上，為了保證傳感器靈敏度不小于2.5 mV... （共7頁）