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基于磁控濺射的Pt/PtRh高溫薄膜熱電偶傳感器集成工藝

材料工程 頁(yè)數(shù)： 7 2024-04-25
摘要： Pt/PtRh為高溫薄膜熱電偶敏感材料，Al2O3和SiO2為復(fù)合絕緣層材料，采用磁控濺射法成功制備Pt/PtRh薄膜熱電偶及Al2O3/SiO2復(fù)合型上下絕緣層，并通過(guò)掩膜-沉積法實(shí)現(xiàn)薄膜熱電偶圖案化制備。結(jié)果表明：制備的復(fù)合絕緣層Al2O3/SiO2能夠有效保證高溫薄膜熱電偶傳感器在1200℃高溫下的絕緣性和化學(xué)穩(wěn)定性。Pt/PtRh熱電偶陣列精度達(dá)到20... （共7頁(yè)）

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