單激光雙PSD深孔直線度檢測系統(tǒng)設(shè)計

摘要： 針對深孔類零件直線度檢測過程中因激光傾斜而引入位置測量誤差的問題，設(shè)計了一種新型單激光雙PSD深孔直線度檢測系統(tǒng)。通過雙PSD檢測模塊實現(xiàn)了光斑位置和傾斜角度的同時測量，建立了相應(yīng)的角度誤差修正數(shù)學(xué)模型和最小二乘法直線度評定算法，提升了深孔零件直線度的檢測精度。實驗證明，本直線度檢測系統(tǒng)的重復(fù)性誤差小于0.0033mm;使用三坐標(biāo)測量機標(biāo)定該直線度檢測系統(tǒng)的檢測精度可達(dá)0.00... （共5頁）