石英微透鏡的制備及其測試技術研究

摘要： 提出一種利用光刻膠熱熔和等離子體刻蝕技術相結合的石英微透鏡陣列的制備工藝。詳細研究了熱熔和感應耦合等離子體刻蝕等關鍵工藝，并確定了最佳工藝參數。最終在石英襯底上制備了不同尺寸和形狀的微透鏡陣列。微透鏡的幾何形貌和光學性能測試結果表明，所制備的石英微透鏡陣列具有很好的尺寸一致性，并且表面質量高，測試焦距與理論計算值相吻合。該方法制備的石英微透鏡陣列具有良好的成像性能，可廣泛應用于... （共7頁）