基于模糊PID的微光學(xué)加速度計(jì)溫度控制系統(tǒng)研究
摘要: 微加速度計(jì)由于其體積小、測(cè)量精度高等優(yōu)點(diǎn)廣泛應(yīng)用于慣性導(dǎo)航等領(lǐng)域,基于光學(xué)測(cè)量原理的MOEMS(micro-opto-electro-mechanical system)加速度計(jì)不易受電磁干擾,擁有更高的測(cè)量精度,具有良好的發(fā)展前景。外界環(huán)境的變化會(huì)對(duì)微加速度計(jì)的性能產(chǎn)生不利影響,特別是環(huán)境溫度的變化,高精度微光學(xué)加速度計(jì)的光腔長(zhǎng)度對(duì)于溫度十分敏感,從而導(dǎo)致探測(cè)精度下降,因此提... (共12頁(yè))
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