同步輻射掃描透射X射線顯微成像系統(tǒng)振動(dòng)的閉環(huán)控制方法研究
摘要: 上海同步輻射光源(Shanghai Synchrotron Radiation Facility,SSRF)掃描透射X射線顯微成像(Scanning Transmission X-ray Microscopy,STXM)實(shí)驗(yàn)站是國(guó)內(nèi)首個(gè)自主研制的STXM實(shí)驗(yàn)系統(tǒng),目前該系統(tǒng)波帶片聚焦直接成像分辨率達(dá)到15 nm,掃描相干衍射成像方法成像的分辨率達(dá)到7.32 nm。系統(tǒng)振動(dòng)是影響... (共11頁(yè))
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