100 mm×100 mm液相外延碲鎘汞薄膜技術進展

摘要： 昆明物理研究所突破了φ150 mm碲鋅鎘單晶定向生長技術，實現了100 mm×100 mm碲鋅鎘襯底的小批量制備，位錯腐蝕坑密度（EPD）≤4×10~4cm^-2，沉積相尺寸小于5μm、沉積相密度小于5×10~3cm^-2。突破了大尺寸碲鋅鎘襯底表面處理以及大面積富碲水平推舟液相外延技術，實現了100 mm×100 mm大尺寸短波、中波碲鎘汞薄膜材料的制備，薄膜表面質量... （共6頁）