飛秒激光加工光纖法布里-珀羅溫度傳感器微槽實驗研究(特邀)

摘要： 光纖溫度傳感器相較于傳統(tǒng)光學功能器件具有損耗小、抗電磁干擾能力強、耐腐蝕等優(yōu)點，其中的光纖法布里-珀羅傳感器更因其結構簡單緊湊、穩(wěn)定性好、易于制造受到廣泛關注。光纖法布里-珀羅傳感器功能結構的傳統(tǒng)加工工藝存在工藝復雜、加工效率低下、熱影響區(qū)嚴重等問題。光纖作為纖細透明的脆性材料，激光作為非接觸的加工方式和微米尺度的聚焦光斑可以有效避免機械性破壞同時可以實現(xiàn)多樣性的加工，已經(jīng)廣泛... （共11頁）