飛秒激光微納加工在微機器人領(lǐng)域的相關(guān)研究(特邀)

摘要： 隨著微機器人的快速發(fā)展，對精密加工技術(shù)的要求日益提高。飛秒激光微納加工技術(shù)憑借其高精度、高效率和非接觸操作等優(yōu)勢，在微機器人領(lǐng)域展現(xiàn)出巨大的應(yīng)用潛力。綜述了激光微納加工在微機器人領(lǐng)域的最新研究進展，重點圍繞激光加工技術(shù)、材料選擇與實際應(yīng)用三個方面展開。在加工技術(shù)方面，激光微納加工具有卓越的微細加工能力，實現(xiàn)了微機器人結(jié)構(gòu)的精確制造；在材料選擇上，選擇了激光微納加工微機器人的典型... （共14頁）