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鎳鉻硅薄膜換能元的制備及其發(fā)火性能研究

火工品 頁(yè)數(shù)： 4 2024-09-26
摘要： 為了探索鎳鉻硅薄膜換能元的發(fā)火性能，采用MEMS工藝制備了鎳鉻硅薄膜換能元。利用掃描電子顯微鏡（SEM）和四探針?lè)▽?duì)鎳鉻硅薄膜進(jìn)行了性能表征；依據(jù)GJB/Z 377B-2022感度實(shí)驗(yàn)中蘭利法進(jìn)行了鎳鉻硅薄膜換能元感度測(cè)試；在發(fā)火電壓27 V、發(fā)火電容33μF條件下對(duì)鎳鉻硅薄膜換能元進(jìn)行了發(fā)火性能測(cè)試。結(jié)果表明：鎳鉻硅薄膜表面平整、致密性較好，且具有負(fù)電阻溫度系數(shù)，其換能元平均... （共4頁(yè)）

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