柔性定位平臺屈曲分析及優(yōu)化設計

摘要： 超高加速度宏微運動平臺是一種超精密定位設備，柔性定位平臺對宏微運動平臺的穩(wěn)定性起到至關重要的作用。為增加它的穩(wěn)定性和安全性，采用有限元方法，通過靜力分析、屈曲分析和響應面優(yōu)化設計，來提高柔性定位平臺綜合性能。建立柔性定位平臺三維模型，對模型進行有限元分析，得到最大等效應力、最大等效應變和負載乘數(shù)數(shù)據(jù)和云圖。以柔性定位平臺槽的尺寸和位置為優(yōu)化變量，以負載乘數(shù)、最大等效應力及最大等... （共6頁）