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基于CBDC優(yōu)化超聲輔助水下激光切割單晶硅的工藝

激光技術(shù) 頁數(shù)： 9 2024-01-15
摘要： 為了對超聲輔助水下納秒激光切割工藝進(jìn)行快速的優(yōu)化，通過分析空化氣泡動(dòng)力學(xué)特性(CBDC)對工藝效果的影響，采用數(shù)值仿真分析、正交試驗(yàn)和高速攝像方法進(jìn)行了理論分析和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，得到了超聲輔助水下激光切割工藝的優(yōu)化參數(shù)，并驗(yàn)證了CBDC是影響切割工藝的主要因素。結(jié)果表明，隨著空化氣泡對激光束的干擾程度增加，切槽深度降低速度增加；隨著切槽深寬比的增加，空化氣泡脈動(dòng)沖擊對切槽底部產(chǎn)生的等... （共9頁）

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