基于SiN平板波導光柵的128通道光學相控陣

摘要： 為了避免全硅光學相控陣(OPA)的輸出光功率飽和現(xiàn)象以及氮化硅的低移相效率，采用硅與氮化硅相結合的設計思路，在實現(xiàn)高功率輸入的同時保證了調相效率；此外，硅基集成OPA為了避免通道間的相互耦合所引起的相位噪聲，波導間距大于半波長，導致柵瓣的存在，進而使得掃描范圍受限，故采用硅波導作為天線前的輸入波導，以減小陣元間距。結果表明，芯片最終實現(xiàn)了41°×7.4°的掃描范圍以及10.7 ... （共6頁）