掩模輔助激光切割PDMS的工藝實驗研究

摘要： 為了提高紫外納秒固體激光切割聚二甲基硅氧烷(PDMS)的加工質(zhì)量，提出了一種掩模輔助激光切割PDMS的方法。采用聚酰亞胺薄膜作為掩模材料，進行了無掩模及不同厚度掩模下紫外納秒固體激光切割PDMS實驗，分析了PDMS材料表面微裂紋的形成機理，獲得了激光主要工藝參數(shù)對微槽的槽深、槽寬及加工質(zhì)量的影響規(guī)律。結果表明，掩模條件下激光切割PDMS的表面加工質(zhì)量較好，無微裂紋產(chǎn)生且玻璃態(tài)轉(zhuǎn)... （共7頁）