基于介質(zhì)超表面的集成化偏振光傳感器

摘要： 設(shè)計了一種基于介質(zhì)超表面的集成化偏振光傳感器，該傳感器由介質(zhì)超表面、雙層視場光闌和互補金屬氧化物半導(dǎo)體（CMOS）圖像傳感器等元件組成。首先，設(shè)計了用于將入射光正交分解為6種偏振光分量的介質(zhì)超表面。其次，分析了傳感器的光路結(jié)構(gòu)，利用微納工藝制作了用于消除環(huán)境雜光的雙層視場光闌。然后，搭建了傳感器對準平臺，并在平臺上完成傳感器的制備。最后，對傳感器進行標定與實驗測試，標定后傳感器... （共8頁）