基于摻鉺鈮酸鋰薄膜的集成波導(dǎo)放大器（特邀）

摘要： 摻鉺鈮酸鋰薄膜可兼具增益性能以及鈮酸鋰的電光、非線性特性，是具有單片全集成潛質(zhì)的光電子平臺(tái)。本研究旨在開發(fā)基于摻鉺鈮酸鋰薄膜的集成波導(dǎo)放大器，以滿足光通信網(wǎng)絡(luò)中對(duì)緊湊、高效光放大器的需求，同時(shí)探索片上增益理論并開展實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。通過電子束光刻結(jié)合干法刻蝕的制備工藝，實(shí)現(xiàn)了傳播損耗低至0.18 dB/cm的鈮酸鋰波導(dǎo)制備。通過1484 nm雙向泵浦方案，10 cm長的集成波導(dǎo)放大器可... （共7頁）

集成光學(xué) 摻鉺鈮酸鋰薄膜 波導(dǎo)放大器 凈增益