異質(zhì)集成Si/Ⅲ-V族半導體激光器研究進展（特邀）

摘要： 硅光子學是集成光子學領域的一項革命性技術，在過去的幾十年中經(jīng)歷了快速發(fā)展。異質(zhì)集成讓硅光子系統(tǒng)包括激光器、探測器在內(nèi)的一些有源無源器件的完全集成成為可能?；诠杵脚_的高質(zhì)量Ⅲ-V族半導體激光器在實現(xiàn)低成本、高密度集成的硅光子學片上光源方面顯示出巨大潛力。本文回顧了常見的異質(zhì)集成方法，隨后回顧了Si和Ⅲ-V族半導體激光器集成的最近研究進展及其在各種片上的光學應用。最后，對硅基集成... （共10頁）