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中國光學(xué)十大進(jìn)展:三維無機(jī)微納結(jié)構(gòu)的激光加工與應(yīng)用(特邀)

激光與光電子學(xué)進(jìn)展 頁數(shù): 15 2023-12-26
摘要: 三維(3D)無機(jī)微納結(jié)構(gòu)在光子學(xué)、量子信息、航空航天、能源等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。利用傳統(tǒng)制備方法獲得的無機(jī)微結(jié)構(gòu)通常分辨率較低和形貌不可控。因此,3D無機(jī)微納結(jié)構(gòu)的精確可控制備成為亟待解決的難題。激光加工具有高精度、形貌可控等優(yōu)勢,能夠?qū)崿F(xiàn)真3D、高分辨、多尺度復(fù)雜3D微納結(jié)構(gòu)的制備,解決3D無機(jī)微納結(jié)構(gòu)的精確可控制備難題。本文綜述了激光加工制備無機(jī)微納結(jié)構(gòu)的研究進(jìn)展,首先討論... (共15頁)

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