平面柔性微定位平臺的設(shè)計分析與優(yōu)化

摘要： 為設(shè)計具有良好靜動態(tài)特性的柔性微定位平臺，提出了兩種基于柔性梁與圓弧形柔性鉸鏈所組成的柔性模塊的柔性運動副。首先，基于該運動副設(shè)計了新型平面2自由度微定位平臺結(jié)構(gòu)；其次，采用柔度矩陣法建立了平臺力-位移關(guān)系及輸出位移的理論模型，基于傳遞矩陣法建立了平臺固有頻率與瞬時動力響應(yīng)的理論模型，并通過有限元仿真驗證了理論模型的正確性。理論研究與仿真驗證表明，平臺具有較高的靜動態(tài)性能，其輸... （共12頁）