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基于壓電超聲換能器的被動(dòng)聲學(xué)發(fā)展及應(yīng)用綜述

壓電與聲光 頁(yè)數(shù): 18 2024-10-20
摘要: 深入探討了微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)在被動(dòng)聲學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用,特別關(guān)注了壓電效應(yīng)、常用壓電材料和傳感結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)三方面。闡述了壓電效應(yīng)的基本概念,介紹了石英、PZT(鋯鈦酸鉛)和ZnO(氧化鋅)等主要的壓電材料,這些材料因其出色的壓電特性而被廣泛用于MEMS技術(shù)。同時(shí)詳細(xì)分析了懸臂梁、薄膜等傳感結(jié)構(gòu),這些結(jié)構(gòu)能夠高效地將聲波能量轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。特別介紹了MEMS麥克風(fēng)、MEMS水聽(tīng)器和M... (共18頁(yè))

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