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干涉測(cè)量中低頻振動(dòng)的頻譜分析

應(yīng)用光學(xué) 頁(yè)數(shù)： 6 2024-09-15
摘要： 為了降低振動(dòng)對(duì)移相干涉測(cè)量的影響，對(duì)振動(dòng)信號(hào)進(jìn)行頻譜分析，分離出對(duì)低頻振動(dòng)有貢獻(xiàn)的頻譜信號(hào)，由此驗(yàn)證了PSI(phase-shifting interferometry)算法在2倍移相頻率處對(duì)振動(dòng)更加敏感的事實(shí)。根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)的PSI測(cè)量步驟，再結(jié)合牛頓廣義二項(xiàng)式定理，推導(dǎo)出多頻率振動(dòng)影響因子γ，通過(guò)Matlab軟件仿真了由標(biāo)準(zhǔn)PSI算法求出的相位誤差以及多頻率振動(dòng)影響因子γ處理后的... （共6頁(yè)）

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