基于狹縫整形的高重頻皮秒激光玻璃斜角切割

摘要： 激光被廣泛應(yīng)用于潛望鏡棱鏡切割和手機屏幕倒角等諸多領(lǐng)域。采用狹縫整形技術(shù)，利用高重頻皮秒激光在玻璃內(nèi)部誘導(dǎo)改質(zhì)區(qū)域以產(chǎn)生裂紋，且裂紋可精準沿斜角切割方向擴展，使用氫氟酸溶液腐蝕切割后的玻璃樣品以輔助裂片。實現(xiàn)了裂片后玻璃斷面粗糙度(Sa)為1.26μm,且斷面與水平方向呈35°夾角的大斜角切割效果。研究了激光單脈沖能量、子脈沖數(shù)和掃描速度對石英玻璃切割后斷面粗糙度及崩邊的影響，... （共12頁）